HORIBA Instruments, Inc. CRITERION D500 质量流量计和控制器

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特性

  • 压力不敏感性能 一个新的高性能压力不敏感功能提供了一个简化的供气系统
  • 多量程、多气、多压解决方案 新的功能允许用户改变气体类型、全尺寸流量和供应压力范围
  • g-life(积分限流器方程气体定律检查)自诊断功能 高级过程健康监控功能允许操作员进行自己的测试,通常在3秒钟或更短的时间内进行,以提高吞吐量
  • 高精度 采用先进的三维调节技术,提高了工艺气体的流量精度
  • 快速反应 响应:<0.8秒 可以实现精确、稳定的流量控制
  • 动态范围 宽控制范围:0.2% f.s.到100% f.s.。
  • g寿命(综合流量限制器方程的气体规律检查)自诊断函数 高级流程运行状况监视功能允许操作人员执行自己的测试,通常在三秒钟或更少的时间内完成,从而提高吞吐量

这种领先的压力不敏感质量流模块安装有压差检测和压电执行器阀。,标准D500提供的高水平性能确保其可用于一系列先进的半导体制造工艺;压力不敏感,多量程\/多气体\/多压力,G-LIFE(集成限流器方程气体定律检查)自诊断功能,高精度,快速响应,宽范围,全金属。,在这里查看我们的MFC比较图。,技术文章,基于压力的质量流量控制模块标准D507系列(1.7MB),摘要\最近随着半导体应用的增加设备据物联网介绍,最新的半导体工厂正致力于尽量减少设备的停机时间。因此,为了对半导体工具及其元件进行失效预检测,半导体工艺的管理参数不断增加,对其要求也越来越严格。为了满足要求的控制标准,要求质量流量控制模块具有高速通信和故障预检测功能,同时还要求具有流量精度和再现性、入口压力不敏感等性能。D507系列是在D500系列上排列的,以满足最近半导体厂严格的管理要求

CRITERION D500 质量流量计和控制器技术参数

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特 性
工作压力 109 psi (76.56 m H2O)
介质类型 Gas
连 接 & 显 示
接口选项 Serial / Digital;Network / Fieldbus
环 境
工作温度 59 to 113 F (15 to 45 C)
物 理
终端配件 Compression
管道直径 0.25 inch (6.35 mm)
安装 In-line
更多技术信息
仪表形式 Mass Flow Meter
更多规格
产品类别 Mass Flow Meters and Controllers

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