Servoflo Corporation FS4001 MEMS Mass Flow Sensor 质量流量计和控制器

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特性

  • 低质量流量范围从0-30 sccm到0-1000 sccm
  • 4毫秒的快速响应时间(可选)
  • 压力额定值高达5巴(73磅/平方英寸)
  • Accuracy of ±1.5%
  • 输出包括线性模拟0.5 - 4.5v或数字rs232
  • 尺寸62 x 52 x 12.8 mm3
  • 压力额定值可达5bar (73psi)
  • 输出包括线性模拟0.5-4.5v或数字rs232

FS4001质量流量传感器采用Siargo公司专有的MEMS流量传感器和封装技术制造。该传感器专门设计用于从0-30 sccm到0-1000 sccm的低流量。FS4001具有5 bar (73 psi)的高超压,可广泛应用于仪器仪表(如质谱)、泄漏检测、过程控制、气体流量计量和医疗应用。FS4001需要8-18 VDC的电源,并提供一个模拟(0.5到4.5 VDC)和\/或数字用户界面(RS232)。校准通常使用氮气进行,其额定压力为20C和101.325 kPa。可根据要求使用其他气体和条件进行校准。","获取质量流量产品和定价指南","特性

FS4001 MEMS Mass Flow Sensor 质量流量计和控制器技术参数

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性 能
精度 1.5 ±%
质量流量 0.0 to 0.0028 lbs/min (0.0 to 7.49E-5 metric tons/hr)
特 性
工作压力 72.52 psi (51.04 m H2O)
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仪表形式 Mass Flow Meter
更多规格
产品类别 Mass Flow Meters and Controllers

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