真尚有科技 ZM105.2D二维高速投影图像测量仪 传感器

近年来，在集成电路和微处理器需求不断攀升的推动下，半导体芯片产业出现了大幅增长。这一增长主要归功于它们在消费电子、汽车和通信系统等领域的广泛应用。随着这些芯片的复杂性不断增加，对制造过程中的质量控制和缺陷检测的重视程度也随之提高。在这种情况下，边缘检测已成为确保半导体器件可靠性和性能的关键程序。

制造商在不同的生产阶段采用不同的边缘检测技术。例如，在晶圆制造过程中，他们主要利用配备高分辨率摄像头和复杂算法的先进光学检测系统来检测晶圆边缘的缺陷并进行分类。在光刻工艺中，采用自动掩膜检测系统来识别掩膜图案中的潜在问题。在蚀刻过程中，通过扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）对边缘进行检测，以仔细检查蚀刻图案是否存在异常。

这些先进的检测解决方案使制造商能够保持严格的质量控制措施，减少半导体器件中的潜在缺陷。用于精密工件高速边缘检测的一种现代技术是投影图像法。这种方法利用图像沿特定方向的投影来检测边缘。例如，英国真尚有ZM106 系列边缘传感器就采用了这种方法，将图像投射到一维信号上。投影上每个点的位置反映了沿原始图像相应线的累积像素值，通过分析这些像素值可以识别原始图像的边缘。同样，ZM105.2D 二维投影图像测量仪的工作原理也是投影图像，通过接收镜头将图像投影到二维 CMOS 传感器上。然后，控制器根据图像阴影边界的位置确定物体的边缘，从而描绘出物体的轮廓。

与其他边缘检测技术相比，图像投影法拥有众多优势。它的计算效率高，需要较少的内存来存储中间结果，因此是一种更具成本效益的解决方案。此外，它在有效处理形状不规则和有噪声的图像方面能力超群。这种方法还具有同时检测多个方向边缘的独特优势，因此是需要特定方向边缘检测应用的理想选择。

英国真尚有公司的 ZM105.2D 二维投影图像测量仪充分体现了这些优势。它提供高速、高精度测量，每秒可检测多达 130 个工件，最小测量误差仅为 ± 1.5 um。ZM105.2D 尤其适用于需要较长发射器和接收器距离的应用。例如，ZM105.2D-25x30 型的发射器和接收器之间的标准间距为 250 毫米，并可根据客户要求进行定制。

然而，边缘检测只是 ZM105.2D 二维投影图像测量仪的一个应用。它更广泛的用途在于高速、在线、批量测量二维线性尺寸、直径、角度、螺纹参数、零件形状、跳动值和许多其他参数。因此，它特别适用于喷油器等复杂的高精度工件。