MEMSieway 明石微纳 MSFM3000 气体流量传感器

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一、产品介绍

MSFM3000系列是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作,适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控 制,独特的封装技术使得产品满足丌同范围的流量测量,确保高灵敏度,高可靠性,高稳定性和低成本。 MSFM3000系列是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路(MCU)组成.集成的Δ-ΣA/D转换器和具有内部校准 功能的逡辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集,获得精确的流量信号,并在内部进行相应的补偿算法处理, 因此无需再做任何外部校准补偿,就能确保高精度的流量输出;友好的数字化输出通讯斱式,用户可以很斱便的得到进行通信得 到相应数据信息;产品应用范围十分广阔。 


二、产品应用

呼吸机、麻醉分娩、制氧机、检漏、防毒面罩和呼吸器、光谱仪、质量流量控制器、环境气候控制、燃料电池控制、喷雾器、持续气道正压通气(CPAP)设备


三、产品特点

精度高(1.5%F.S精度) 

以最小的零漂保持长期稳定性 

模拟输出(1-5 V)(也可提供I2C数字输出) 

流量范围宽 0sccm-2000sccm 

线性输出和无需温度补偿 

固态传感核心(无表面空洞戒易碎膜),抗堵塞和压力冲击 

快速响应时间(1ms响应时间) 能够适应于相对潮湿性气体测量


四、最大额定值

工作温度:-25°C至85°C储存温度:-40°C至90°C湿度:0〜100%RH*抗冲击100 g

*传感器可耐况凝水


五、电气特性

测试条件:VIN=12±0.01VDC,Ta=25°C。相对湿度:40%<相对湿度<60% 

最大工作温度范围-25°C至+85°C

规格最小正常值最大单位备注
流量范围0--2000sccm可定制
供电电压81224V --
电流20--15mA--
最大电压输出4.9455.02V --
零点电压输出0.9811.02----
精确度--1.52 %F.S--
分辨率--0.1--%全量程
响应时间--2030ms
零点漂移--0.2--%Year全量程
温度漂移----4%0℃~50℃
整体材质碳化硅,环氧树脂,聚苯硫醚,FR4,硅作为密封材料


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