武汉普赛斯仪表 普赛斯S型 仪表

利用数字源表进行Mini  LED光电特性测试

实施Mini  LED光电特性参数分析的最佳工具之一是数字源表（SMU）。数字源表作为独立的恒压源或恒流源，输出恒压或恒流、还可以当作表，进行电压或者电流测量；支持Trig触发，可实现与光谱仪，探针台，分选机等第三方设备联动工作。

目前，光电性能检测是通过Mini  LED点测机实现的，用于测量晶圆上每一颗芯片。点测机的主要结构单元包括探针台，电性能测试单元，光性能测试单元，以及上位机控制系统等。该工序根据实际情况，位于晶圆划片前，或者后工序。设备基本构成主要包括探针台，电子显微镜，SMU，ESD，工控机，积分球，光谱仪等。其中，SMU的作用是对芯片进行IV特性测试，同时在光学测试中，对芯片进行供电。

常用的电性能测试项目包括，VF1,VF2,IR,VZ,VFD,DVF等。
⑴ VF（正向电压）测试， FIMV： 一般会测两个点， 第一个点VF1为 LED刚点亮时电压， 第二个点VF2为LED 正常工作时的电压；
⑵  VZ（反向击穿电压）测试， FIMV：一定反向电流时，器件两端的电压;
⑶  IR（反向泄露电流）测试， FVMI： 一定反向电压时，  流过器件的电流；
⑸  DVF 测试，材料热缩效应测试， FIMV：  对LED施加两次不同的电流，并计算不同条件下的电压差；
⑹  VFD 测试，正向电压暂态峰值电压测试， FIMV：  对LED施加一定的正向电流，同时采集电压变化， 尖峰电压与正常电压的差值即为VFD；

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