产品介绍
Conax提供单点校准热电偶,设计用于应用材料\/Moore Technologies 76XX、77XX和78XX系列外延管式反应器。,单点传感器允许校准3个红外(IR)传感器,用于在晶圆加工过程中监控受电器温度。单点需要重新定位在接收器中,以检查每个或3个红外传感器的校准。单点传感器使用K型热电偶导线和Haynes 214护套。
Single-Point Calibration TC for the Barrel Reactor 热电偶温度探头技术参数
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规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
特 性 | ||
特征 | Available as an Assembly | |
物 理 | ||
探头配置 | Straight Probe | |
更多规格 | ||
金属、贵金属和难熔金属类型 | K | |
产品类别 | Thermocouple Temperature Probes | |
护套材料 | Haynes 214 |
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