Brooks Instrument 布鲁克斯 GF125 & GF125HA & GF126 流量控制器

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超快速响应时间和最高纯度– GF125系列是第二代多变量、压力瞬变不敏感(PTI)、金属密封质量流量控制器和仪表。首次将PTI质量流量控制技术引入市场,GF125将因压力和温度波动而产生的工艺气体流量变化降至最低。标准MultiFlo™技术使一台MFC能够支持数千种气体类型和量程组合,而不必将其从输气管道中移除或影响精度。,结果:通过消除对使用点压力调节器、压力传感器和相关硬件的需要,结合业界’年最佳的PTI性能,最大限度地提高产量和生产率。,功能,优点,关键应用

特性

  • Long-term zero stability of <±0.5% full scale per year
  • 超快沉降时间:300 ms-<700 ms
  • 全尺寸流速可达300 slpm
  • Ultra-high purity flow path - 4µ inch Ra surface finish
  • 半f20兼容润湿材料
  • Corrosion-resistant Hastelloy® T-Rise sensor with high speed ARM processor
  • 快速作用,无隔膜阀总成不受压差的影响,测试超过700万个周期,没有任何故障
  • MultiFloTM technology offers unparalleled flexibility—one device can be programmed for thousands of different gas and flow range configurations without removing the MFC from the gas line or compromising accuracy
  • 本地显示显示流量、温度、压力和网络地址,便于煤气供应和隔离阀故障排除
  • 可选高精度配置
  • devicenettm、rs-485 l协议和模拟接口
  • 通过结合布鲁克斯的专利流量传感器技术和快速作用无隔膜阀总成,gf125系列的响应和稳定时间比其他质量流量控制器快3倍
  • 优化的湿润流动路径,改善干井
  • 使用multiflotm, mfc全尺度流量范围通常可以缩小3:1的倍数,而不影响精度、调节或泄漏,实现最佳工艺和库存灵活性
  • 完整的气体数据库提供最广泛的工艺气体覆盖范围
  • 压力瞬变不敏感(pti)能力克服了传统MFC对小进口压力波动反应强烈的局限性。其结果是稳定的性能和可预测的精度。
  • GF125高精度(HA)具有卓越的低设定点精度,可将两个(一个高流量和低流量)质量流量控制器替换为一个,从而在节省燃气管线的同时节省更多燃气面板的灵活性。
  • 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口辅助设备的安装、监控和故障排除
  • 半导体
  • 金属
  • 要求高纯度全金属流道的气体流量控制应用
  • 满标度流速高达300 slpm
  • F20半湿润材料
  • 就地显示显示流量、温度、压力和网络地址,以便对供气和隔离阀问题进行故障排除
  • devicenettm, rs-485 l协议和模拟接口
  • 通过结合brooks的专利流量传感器技术和快速作用的无隔膜阀总成,gf125系列的响应速度和稳定时间比其他质量流量控制器快3倍
  • 改善干燥的优化湿流路径
  • 一个完整的气体数据库提供最广泛的过程气体覆盖
  • 方便的用户显示和独立的诊断/维修端口有助于设备的安装、监控和故障排除

GF125 & GF125HA & GF126 流量控制器技术参数

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性 能
精度 0.3 ±% FS
特 性
测量介质 Gas
控制信号输出 Analog Voltage; Serial / Digital; Network / Fieldbus Output; RS485, DeviceNet™
控制输出数量 1 outputs
输入数量 1 inputs
连 接 & 显 示
用户接口 Computer Programmable; Network
更多规格
标准和合规性 RoHS; Other; EC Directive 2004/108/EC, CE: EN61326-1: 2006, REACH Directive EC 1907/2006
产品类别 Flow Controllers
通信接口 RS485, DeviceNet™

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