特性

• 用于测量硅晶圆片
• 4 Temperature ranges between 350 and 1800 °C
• 光谱范围:近红外的窄波段，尤其用于硅的测量
• 6个固定光学元件和3个可聚焦光学元件
• 响应时间为10ms，可调至10s

数字高端高温计，用于350°C以下硅片的非接触式温度测量。，IS 12 Si是IS 12的特殊版本，专为硅片温度测量而开发。，高温计配备了近红外光学窄带滤波器。这使得可以可靠地测量350°C的薄硅，否则红外辐射是透明的。在这个特殊的光谱范围内，硅的发射率为67%，几乎与温度无关。这使得IS 12 Si能够检测硅片的正确温度。，在温度范围的开始，IS 12 Si对光敏感。灵敏度随温度升高而降低。在要求温度范围开始时温度较低的应用中，可通过遮光来避免这种影响。