产品介绍
MF5000系列质量流量计是专为小型管道流量监测和控制而设计的。该系列可测量直径小于0.5 mm，但不超过19 mm的气体流量。由于MEMS传感器的自流量调节特性，与传统的旁路热式质量流量计相比，该流量计具有极低的压力损失。根据要求，仪表的精度通常为（1.5+0.2FS%）或更好。仪表可在-20至60°C的环境下工作，压力高达2.5 MPa。应用范围包括半导体气体过程监控、医院氧气监测仪等
MF5012 质量流量计和控制器技术参数
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| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 性 能 | ||
| 精度 | 1.5 ±% | |
| 特 性 | ||
| 工作压力 | 435 psi (306 m H2O) | |
| 介质类型 | Gas | |
| 连 接 & 显 示 | ||
| 接口选项 | Serial / Digital | |
| 环 境 | ||
| 工作温度 | -4 to 149 F (-20 to 65 C) | |
| 物 理 | ||
| 终端配件 | In-line Threaded | |
| 管道直径 | 0.47 inch (12 mm) | |
| 安装 | In-line | |
| 更多技术信息 | ||
| 仪表形式 | Mass Flow Meter | |
| 更多规格 | ||
| 显示 | Digital | |
| 测量技术 | MEMS Flow Sensor | |
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
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