4156B半导体参数分析仪Agilent

4156A 精密半导体参数分析仪

主要特点

高分辨率/准确度和宽范围。I：1 fA至1 A（20 fA偏移精度），V：1μV至200 V.

采用直流或脉冲模式的全自动IV扫描测量，S多可扩展至6个SMU

同步应力/测量功能，两个高压脉冲发生器单元（±40 V）

时域测量：60μS可变间隔，S多10,001个点

易于使用：旋钮扫描类似于曲线追踪器，自动分析功能

自动化：内置HP Instrument BASIC，触发I / O功能

Agilent HP 4156A是下一代精密半导体参数分析仪。您可以获得S佳的数字扫描参数分析仪，可靠性测试仪，功能强大的故障分析工具和自动化的输入检测站，所有这些都集成在一台仪器中。

这个新系列的设计旨在为评估亚微米几何设备提供精度和功能。使用一台灵活的仪器，您可以从材料评估和器件特性一直到S终的封装零件检测和现场故障分析，从而提高半导体质量。

Agilent HP 4156A提供四个内置源/监视器单元（SMU），两个电压源单元（VSU）和两个电压监视器单元（VMU）。Agilent HP 4156A将电流分辨率扩展至1 fA，精度达到20 fA。Agilent HP 4156A在每个SMU上使用全开尔文遥感。

您可以随时添加Agilent HP 41501A SMU和脉冲发生器扩展器，它配有0 V / 1.6 A接地单元。扩展器可接受两个100 mA / 100 V SMU或一个1 A / 200 V SMU，以及两个特殊同步的40 V / 200 mA /1μs脉冲发生器。

设置和测量

Agilent HP 4156A可以使用许多测量单元（包括HP 41501A中的单元）执行阶梯和脉冲扫描测量以及采样（时域）测量，而无需更改连接。此外，您还可以轻松执行压力测量循环测试，以进行热载流子注入和闪存EEPROM测试等可靠性评估。

通过设置页面并从前面板键，键盘或HP-IB（SCPI命令）填充空白来进行设置和测量。您还可以使用旋钮扫描功能即时测量和查找设置条件，这与曲线跟踪器操作类似。

显示和分析

测量和分析结果显示在彩色CRT上，您可以叠加来自四个图形存储器的存储图形进行比较。许多强大的图形分析工具可以轻松分析和提取许多参数，如hFE和Vth。找到参数提取条件后，可以使用自动分析功能自动获取参数。

输出和存储

设置，测量和分析数据可通过HP-IB或串行接口输出到彩色绘图仪和打印机。您还可以将数据保存为MS-DOS或LIF格式的3英寸磁盘。图形（HP-GL或PCL）输出文件允许您将图形传输到桌面出版软件。

重复和自动化测试

Agilent HP 4156A内置的Agilent HP Instrument BASIC控制器可以使用不带控制器的外部仪器构建自动测量系统。Agilent HP 4156A可通过多种触发I / O功能与外部仪器同步。

备注：

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