产品介绍
一、产品介绍
MSFM3000系列是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控 制，独特的封装技术使得产品满足丌同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本。 MSFM3000系列是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路（MCU）组成.集成的Δ-ΣA/D转换器和具有内部校准 功能的逡辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号，并在内部进行相应的补偿算法处理， 因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出；友好的数字化输出通讯斱式，用户可以很斱便的得到进行通信得 到相应数据信息；产品应用范围十分广阔。
二、产品应用
呼吸机、麻醉分娩、制氧机、检漏、防毒面罩和呼吸器、光谱仪、质量流量控制器、环境气候控制、燃料电池控制、喷雾器、持续气道正压通气（CPAP）设备
三、产品特点
精度高（1.5％F.S精度）
以最小的零漂保持长期稳定性
模拟输出（1-5 V）（也可提供I2C数字输出）
流量范围宽 0sccm-2000sccm
线性输出和无需温度补偿
固态传感核心（无表面空洞戒易碎膜），抗堵塞和压力冲击
快速响应时间（1ms响应时间） 能够适应于相对潮湿性气体测量
四、最大额定值
工作温度：-25°C至85°C 储存温度：-40°C至90°C 湿度：0〜100％RH* 抗冲击100 g *传感器可耐况凝水
五、电气特性
测试条件：VIN=12±0.01VDC，Ta=25°C。相对湿度：40％<相对湿度<60％
最大工作温度范围-25°C至+85°C
规格 最小 正常值 最大 单位 备注 流量范围 0 -- 2000 sccm 可定制 供电电压 8 12 24 V -- 电流 20 -- 15 mA -- 最大电压输出 4.94 5 5.02 V -- 零点电压输出 0.98 1 1.02 -- -- 精确度 -- 1.5 2 %F.S -- 分辨率 -- 0.1 -- % 全量程 响应时间 -- 20 30 ms 零点漂移 -- 0.2 -- %Year 全量程 温度漂移 -- -- 4 % 0℃~50℃ 整体材质 碳化硅，环氧树脂，聚苯硫醚，FR4，硅作为密封材料
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