一、产品介绍

MSFM5008系列是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控 制，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本。 MSFM5008系列是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路（MCU）组成。集成的Δ-ΣA/D转换器和具有内部校 准功能的逻辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号，并在内部进行相应的补偿算法处理 ，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出；友好的数字化输出通讯方式，用户可以很方便的得到进行通信 得到相应数据信息；产品应用范围十分广阔。

二、应用领域

工业 医疗 石油 燃气 化工 冶炼 食品加工 仪器仪表 机电设备

三、产品特点

精度高（1.5％F.S精度）

线性输出和无需温度补偿

以最小的零漂保持长期稳定性

快速响应时间（20ms响应时间）

流速范围宽0-60m/s，抗冲击100g 。 

固态传感核心（无表面空洞或易碎膜），抗堵塞和压力冲击。

模拟输出（1至5V）（可提供数字I²C通信输出）

能够适应于相对潮湿性气体测量 

工作温度：-25°C至85°C 

储存温度：-40°C至90°C 

湿度：0〜100％RH 

传感器可耐冷凝水

四、性能参数

功能项	性能参数	单位	备注
流量范围	20/50/100/200	slpm	可定制
供电电源	8~24VDC,50mA	VDC	可选
精度	±1.5	%	FS
响应时间	20	ms	可选
最大压力	0.8	MPa	可定制
通讯方式	I²C	--	可选
输出方式	模拟输出 1-5V	V	--
温度	介质温度(-10~65)，环境温度(-25~85)	℃	--
接口	G3/8	--	可定制
防护等级	IP40	--	--
校准方式	空气，0℃, 101.325kPa	--	--
整体材质	不锈钢（铝合金可选）	--	--

五、输出引线定义

注释： 

管脚定义中，I²C 通讯（SCL 和 SDA）；

Vin 是外部供电输入（8~24VDC）；

Vout 是模拟电压 1-5V 输出型号；

GND 是公共地（电源地）。 

颜色表示配线对应颜色。