setra西特730系列真空电容式压力计
Setra 的 730 型是一款**的电容式压力计(亦称电容式膜片真空计 (CDG)),适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精度达 ±0.5%,分辨率高,优于同类产品。 730 型使用全InconelTM 接液材料,可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计,它能测量介质,不受应用中气体混合物成分的影响。应用·半导体处理室·石化·等离子体器·真装,领域,
730G020TAN22CT1K 730G10CTAD42CD9A 730G010TAD42CD9A 730G010TAN12CT1A 730G10CTAD42CD7A 730G010TAN12CD7A
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特性
·**:±0.5% 读数·张紧的膜片*优异的性能·工作温度补偿范围宽·回路噪声低,响应快·不易受环境条件变化影响·出色的抗过压设计·符合 CE 和 RoHS 规范、
■ 耐化学品的 InconelTM 设计■ 的低真空测量■ 压力接头适合苛刻应用的**产品
采用单膜片可变电容感应元件,适用于苛刻的半导体和工业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的特点,使之成为关键制造过程中的理想选择。
Inconel® 设计*通用性
所有接液部件均采用 Inconel TM 材料,因此对半导体和工业真空过程中的腐蚀性介质具有高的耐受性。Inconel TM 材 料 结 合 全 焊 接 结 构, 确 保 730 型 在 这 类应用中的长使用寿命。
直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业电容式压力计不同, 730 型测量直接压力,不受被测混合气的影响,这使其精度优于间接测量型压力计。
产品替代
资料下载
文件名称 | 大小 | 操作 |
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730新 | 1.11 MB | 下载 |
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