产品介绍
简介
迷思科技发布了一种压阻式绝对压力传感器芯片，大小仅为0.4mm × 0.4mm，是目前全球最小尺寸、最低成本的绝压传感器芯片！相关研究人员利用体硅下薄膜TUB技术（thin-film under bulk-silicon technique）提升灵敏度、减小挠度、改善线性度，同时压力传感器芯片采用一种新型的无疤痕微创手术（MIS）制造而成，并且该工艺与标准IC代工厂的工艺兼容，因此可有效降低成本。因此采用这种高良率工艺每片6英寸晶圆可生产90000颗芯片，从而实现极低的芯片制造成本。
迷思科技该工艺的绝压传感器100-1500kpa全系列可定制，欢迎垂询！
特点
尺寸极小：400μm×400μm
全桥输出、无需外接电阻
精度高、稳定性好
低噪声、低功耗
典型压力范围：30~110 kPa
过载压力：300 kPa
灵敏度：0.6-0.7 mV/kPa/3.3V
非线性：0.1%
TUB100A01 压力传感芯片技术参数
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| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 性 能 | ||
| 工作压力量程 | 30-110 kPa | |
| 过载压力 | 300 kPa | |
| 非线性度 | 0.1 ±% Full Scale | |
| 特 性 | ||
| 压力类型 | 绝压 | |
| 测量技术 | 压阻式;MEMS | |
| 更多技术信息 | ||
| 产品类别 | 敏感芯片 |
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