SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器，是西安思微传感科技有限公司自主开发的—款高精度MEMS(MicroElectro Mechanical Systems)压力传感器。硅谐振压力传感器是目前测量精度最高的压力传感器，因其具有精度高、稳定性好、准数字输出等优点，被广泛应用在航空大气数据测噩系统、地面压力控制器和气象测噩设备中。

传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计，其工作方式为面内振动，通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率，再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。

SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器采用简洁的压力接口和电气接口，在保证性能的情况下，将传感器的尺寸压缩到最 小，方便产品的拆卸与安装。

特点

SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器采用简洁的压力接口和电气接口，在保证性能的情况下，将传感器的尺寸压缩到最 小，方便产品的拆卸与安装。

传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计，其工作方式为面内振动，通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率，再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。