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爆裂压力
单位
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精度(优于)
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压力迟滞
±% FS
重复性
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MTMicrosystems 美泰科技
河北美泰电子科技有限公司(美泰传感器)隶属于大型央企中国电科,是中国MEMS行业协会理事长单位,专门致力于MEMS(微电子机械系统)器件与系统的研发、生产和销售。是国内最大的MEMS高端核心芯片、器件和系统产品供应商,中国MEMS技术领导者。主要产品有MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、MEMS压力传感器芯片、汽车MEMS传感器、射频(RF)MEMS器件、光MEMS器件等。产品广泛应用于航空航天、高铁、汽车、自动驾驶、通信、地震监测、物联网、智慧城市、智能家电等领域。公司拥有国际先进的6吋MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备,是国内最大的MEMS高端核心芯片、器件和系统产品供应商。二十多年的MEMS行业经验打造的优势产品MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、汽车MEMS传感器、射频(RF)MEMS器件成为国际领先的品牌。公司拥有国际先进水平的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备,是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位。已通过GB/T19001:2016、ISO9001:2015、IATF16949:2016、GJB9001C-2017体系认证。MEMS产线(IDM)-6英寸中国电子科技集团第十三研究所全资子公司,2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。6英寸SOI MEMS标准工艺和封装技术用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工,美泰科技6英寸产线月产能达到1万片。
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