筛选条件
测量类型
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浓度
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微量
-
泄漏
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光谱
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% 体积
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% 爆炸下限
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%LEL or %LFL
测量技术
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半导体式
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电化学式
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光离子化 PID
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红外吸收检测 NDIR
气体类型
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氟 (F)
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水蒸气
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气溶胶
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氧气 (O2)
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臭氧 (O3)
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溴气 (Br2)
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硅烷 (SiH4)
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锗烷 (GeH4)
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氨气 (NH3)
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汞蒸气 (Hg)
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磷化氢 (PH3)
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乙硼烷 (B2H6)
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一氧化碳 (CO)
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二氧化碳 (CO2)
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一氧化氮 (NO)
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二氧化氮 (NO2)
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氮氧化物 (NxOx)
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二氧化硫 (SO2)
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六氟化硫 (SF6)
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砷化氢 (AsH3)
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氯气 (Cl2)
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二氧化氯 (ClO2)
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卤烃（制冷剂）
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碳氢化合物
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氢气 (H2)
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氟化氢 (HF)
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氯化氢 (HCl)
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硫化氢 (H2S)
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氰化氢 (HCN)
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硒化氢 (H2Se)
