据报道，总部位于英国剑桥的MEMS初创公司Silicon Microgravity(SMG)近日宣布完成其第一阶段180万英镑融资，以助其MEMS技术实现商业化,融资资金来自英国创新与科学种子基金(UKI2S)、牛津创新EIS成长基金、牛津创新金融天使网络(OION)以及国防与安全加速器(DASA)。
Silicon Microgravity
Silicon Microgravity的谐振式MEMS技术源自剑桥大学纳米科学中心的十多年研究成果,Silicon Microgravity背后发表的多篇重要论文证明了其正处于这一领域的发展前沿,Silicon Microgravity拥有不断增长的MEMS知识产权组合，目前已经获得了20多项专利授权。
大动态范围、低噪声MEMS加速度计
Silicon Microgravity的大动态范围MEMS加速度计经过扩展能够满足动态范围>25g、本底噪声<5µg/rt-Hz、偏置不稳定性<1µg的战术和导航级应用。其传感原理类似MEMS重力仪，即跟踪机械连接检测质量的一对微机械振动梁中的差分谐振频率偏移,经过调节的差分频率输出被数字化，以便与其它MEMS传感器集成应用，开发紧凑的惯性测量单元(IMU)。Silicon Microgravity的MEMS加速度计适用于宽温度范围、高冲击和振动的工作环境。
高性能MEMS陀螺仪
基于类似的谐振原理，Silicon Microgravity开发了一种高性能MEMS陀螺仪，具有相当的性能精度和小型化优势，旨在实现当前MEMS技术无法解决的惯性导航应用，与传统陀螺仪相比，该技术在尺寸、成本、功耗和尺寸方面有潜力大幅改善。这种陀螺仪可以提高MEMS重力传感器的性能(通过实现高度精确的定位)，但更值得关注的是，这项技术在惯性导航(例如行人或汽车导航系统)、制导和稳定，以及许多商业、工业和军事智能系统的引导方面有着更广泛的应用。
惯性导航
长期以来，市场一直需要更小、更准确、成本更低的惯性导航系统。MEMS技术已经在消费级和汽车级系统中实现了应用，但一直难以实现战术级和导航级应用所需要的性能。Silicon Microgravity正在开发一款导航级MEMS IMU，其尺寸将小于火柴盒，成本将远低于现有产品。随着业界对精确定位的要求越来越高，这将使Silicon Microgravity成为运动和定位市场的关键赋能者。
(来源：麦姆斯咨询)