台积电正在开发多个 N3 节点，目前至少 N3、N3B 和 N3E 正在开发中。N3 计划于 2023 年投产，N3E 节点原定于 2024 年投产。N3E 节点原本是 N3 节点的增强版本，基于更少的 EUV 层的的设计，据说从 25 层降至 21 层，这将使其更容易制造。据悉据说 N3E 节点的密度比原始 N3 节点低 8% 左右，但仍比 N5 节点高 60% 左右。相比之下，据说 N3 节点的逻辑密度比 N5 节点高 70%。
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最新的报告显示， 台积电N3E 节点可能会在本月底完成，这意味着从 23 年第 3 季度到 23 年第 2 季度可能会投产。
据说 N3E 节点“具有改进的制造工艺窗口，具有更好的性能、功率和产量”，产量也高于 N3B 节点， N3B 是针对某些客户的 N3 的改进版本。目前对 N3B 节点知之甚少。