本文作者：梧桐
近日，DIGITIMES Asia一份报告称，伴随中国汽车销量持续增长及其智能系统加速迭代，中国MEMS传感器制造商正加速汽车应用的研发。
报告还称，虽然目前中国汽车MEMS市场还主要由博世、大陆、德尔福和森萨塔科技主导，但不断增长的需求，也为中国MEMS传感器公司创造了新的机会，包括明皜传感、赛微电子、美泰电子、矽睿科技，美新半导体和士兰微等。
图源：DIGITIMES Asia
其中，美泰电子一直向比亚迪供应加速度传感器，并且其MEMS惯性传感器和系统已应用于50多款新能源汽车，同时该公司还获得了压力传感器和芯片的订单，此外，其安全气囊加速度传感器的开发进展顺利，目前正在进行应用验证；赛微电子则宣布，其子公司Silex已为客户小规模生产MEMS微镜，客户已签署采购订单。
可见，国内MEMS传感器产业正迅速崛起，在汽车爆发式增长的风口上，正在加速追赶国际龙头企业。并且，关于国产MEMS传感器，近日还有更多研发、量产和扩产能的新闻。
高华科技：SOI原理MEMS压力芯片预计年底实现量产
高华科技近期披露投资者关系活动记录表显示，SOI原理MEMS压力芯片已完成初样验证，并开始进行小批量试制，预计2023年年底实现量产。
据了解，高华科技于今年4月在科创板上市，其招股书透露，该公司大多数产品已全部采用MEMS技术，并且MEMS技术相关产品为其带来营收占比已达67.58：
图源：高华科技招股书
图源：高华科技招股书
此外，上市后的高华科技近期也发布了半年报，资料显示，该公司实现营收1.44亿元，较上年同期增加9.46%；实现净利润0.40亿元，较上年同期增加4.50%。
中国电科（美泰电子）：自主研发产品已实现百万量级装车交付
近日，中国电子科技集团下属中国电科产业基础研究院表示，其研发的两款MEMS核心传感器已实现百万量级装车交付。
据介绍，该企业围绕新能源汽车布局十余类汽车传感器系列产品，不断在关键核心技术和生产制造平台上创新突破。截至目前，企业自主研发的MEMS惯性器件与系统、MEMS压力传感器实现百万量级装车交付，MEMS安全气囊传感器实现量产定型。
其中，MEMS惯性器件与系统是汽车高级辅助驾驶(ADAS)系统的核心部件，能够输出高实时性、高连续性的车辆姿态、方位、位置、速度信息等传感数据，实现对自动驾驶汽车“全天候”精确定位定向，产品已获得多家重点新能源车企量产定点；MEMS压力传感器广泛用于汽车机油压力、发动机进气压力、空调系统、油箱蒸汽压力、新能源电池温度压力等关键部位，可完全替代国际主流产品。
拜安半导体：6英寸MEMS光纤传感器芯片特色生产线在嘉定投产
近日，嘉定综保区内企业上海拜安半导体有限公司6英寸MEMS光纤传感器芯片特色生产线投产试运营，并成功生产出MEMS光纤加速度传感器、MEMS光纤压力传感器等多款产品。
据了解，其独立厂房面积超过8100平方米，厂房超净间面积超3000平方米。产线投产后，拜安半导体除了满足拜安科技对MEMS光纤传感器芯片的需求，未来还将对外开放MEMS光纤传感器芯片研发生产，每年研发生产芯片晶圆10000-15000片。
拜安半导体厂房（图源：官方通稿）
国内首条12英寸MEMS量产线封顶
近期，广州增芯科技12英寸智能传感器晶圆量产线项目封顶。