苏州感测通又发布一系列一维MEMS振镜模组适用于各种工业与消费电子行业

近日，导远科技旗下苏州感测通信息科技有限公司（以下简称“感测通”）继去年宣布自主研发的多款二维MEMS振镜模组产品后，再一次发布可量产的六款不同镜面尺寸的一维MEMS振镜模组产品。

感测通MEMS振镜模组通过不同的镜面尺寸扩展新的一维系列产品，可被激光雷达、工业机器人等行业和从事相关技术产品研发的公司、研究机构和大专院校等采用。

在光学扫描系统中MEMS振镜相较于传统机械振镜有着如下优势：

• MEMS材料单晶硅，不会疲劳，极限应力内拥有无限使用寿命；
• 千摄氏度下没有塑性形变，不存在机械装配间隙位移或磨损，重复精度极高且稳定；
• 弹性形变，平滑无极运动，高精度控制可带来高精度分辨率；
• 半导体流片，芯片级封装，测控一体集成，体积小，可靠稳定。
• 苏州感测通信息科技有限公司的芯片团队，两年内研发出了一系列的MEMS振镜模组产品。

（从左至右：模组冲击测试、模组扫频振动测试、高温老化测试）

该系列二维振镜模组可进行光栅扫描。精度高，体积小，角度大。

（从左至右：5*7mm二维振镜模组，8mm二维振镜模组，10mm二维振镜模组）

二维振镜模组采用单通道驱动来满足快慢两轴同时扫描的效果，快轴由谐振信号激发谐振模态正弦扫描，慢轴可以定制频率调制信号匀速扫描，从而形成光栅扫描。

（光栅扫描轨迹图）

因为压阻反馈直接通过半导体工艺制作在振镜芯片的快慢轴扭转梁上，相比于机械振镜外加的光电或光栅外部传感器，反馈直接输出的位置信号干扰更小且不会故障。感测通提供的开发驱动板提供双轴反馈信号输出端口，二维光栅扫描下可提供的慢轴帧信号与快轴的反向时的行信号。

（光栅扫描下的反馈信号：绿线为慢轴角度反馈信号，黄线为快轴角度反馈信号，红线为快轴反向脉冲信号）

（驱动开发板，左侧为通信控制板，右侧为驱动板）

感测通新推出的一系列体积更小的一维振镜可满足更多的应用场景，镜子包含准静态和高频谐振模式，均配备对应的开发板供客户拓展应用场景。

从左至右：准静态8mm一维振镜，谐振8mm一维振镜，20*12mm一维振镜）

感测通专注于研发和生产MEMS振镜，拥有独立的芯片自主设计能力，产业链完整，MEMS振镜加工工艺和封装工艺可控，模组成本将随着产量的增长稳步降低，为MEMS振镜规模化量产和应用提供保障。

（封测车间）

关于感测通（GST）

苏州感测通信息科技有限公司成立于2016年，是一家专注于MEMS传感器和AIOT方案研发、生产、销售的高科技企业，也是全球化的MEMS传感器与物联网系统解决方案供应商。苏州感测通是导远集团旗下负责芯片设计的公司，专注于MEMS传感器研发设计、系统解决方案、芯片销售，主要业务包括MEMS传感器芯片设计和ASIC集成电设计，负责惯性器件（加速度计+陀螺仪）设计、微镜设计。公司在南通拥有成熟的封测线与通过认证的超净车间，为芯片的量产交付与出货质量保驾护航。公司研发团队来自海内外知名企业与高校，60%以上员工具有博士硕士学位，具有国际化的视野、雄厚的研发实力、与时俱进的企业管理和市场开拓能力。

苏州感测通是广东导远科技有限公司100%控股的传感器设计业务全资子公司，战略布局上为广州导远电子科技有限公司提供芯片技术供应与技术支持。广州导远电子科技有限公司成立于2014年，注册资金8.5亿人民币，是国家高新技术企业、中国汽车工业协会会员、中国汽车工程学会会员，被评为毕马威2020中国汽车科技50强、2021德勤中国高成长高科技50强，并在2023年完成了数亿元D+轮融资。

苏州感测通信息科技有限官网：www.globalsensor-test.com