5月12日，御微首款掩模基板缺陷检测产品Halo-100在御微合肥成功发货，并成功交付国内先进掩模厂。
根据御微半导体的官方消息，其Halo-100设备是御微“覆盖全生命周期质量控制”产品线的第二款产品。基于高精度光学系统、高稳定性运动台系统、高清洁度环境控制和传输系统，结合御微半导体专有算法和软件系统，实现了覆盖基板（blank）缺陷检测的要求，并将掩模检测的应用领域扩展到掩模厂进料检验和掩模基板厂全过程控制检验。
据介绍，在掩模基板厂，Halo-100设备可用于玻璃基板材料检验、多层涂层工艺检验和成品运输检验，帮助客户监控每个工艺节点的清洁度。