近日，三菱电机公司宣布开发出一款紧凑型MEMS激光雷达（LiDAR）解决方案，能够实现超宽的水平扫描视场，准确探测自动驾驶系统前方物体的形状和距离。这款激光雷达解决方案使用双轴（水平和垂直）MEMS微镜向物体发射激光束，并扫描反射光，从而生成车辆和行人的3D图像，三菱电机希望利用这款紧凑型低成本激光雷达解决方案推动更安全的自动驾驶。
据悉，此款激光雷达具备大尺寸双轴电磁MEMS扫描微镜，独特的轻巧设计使扫描角度更广。激光雷达在发射激光束之后，需要尽可能多地收集反射光，以便获取最精确的3D图像，尤其是车辆和行人的3D图像。因此，激光雷达系统需要大表面积的反射镜，以最大程度地收集反射光。另外，精确监控车辆周围更广泛的区域，也需要更大的扫描角度。
同时，三菱电机这款新产品在轻巧的设计中集成了业界最大尺寸的电磁式MEMS扫描微镜（尺寸为7mm x 5mm），能够实现水平和垂直双轴扫描。除了尺寸优势，这款MEMS微镜的独特结构有助于其在不牺牲器件刚性的前提下减轻重量。凭借轻巧的设计和高电磁产生的驱动力，可以使扫瞄镜实现水平±15度的大范围运动。当前的垂直扫描范围为±3.4度，三菱电机计划通过改善MEMS悬梁结构将其提高到±6.0度以上。其MEMS微镜可以采用半导体工艺在硅基板上大批量生产。此外，与采用电机进行机械驱动扫描的反射镜相比，MEMS微镜使用的零件更少，有助于提高激光雷达整体解决方案的耐久性。
另外，该款激光雷达还优化了设计，缩小了产品尺寸，并能够在更宽广的范围内获取3D图像。三菱电机优化了电磁MEMS扫描微镜和光学组件（包括多个激光光源、光电探测器和透镜）的排布，以抑制光学暗角，以及内部组件对激光束的影响。优化的设计和光学发射/接收机制可实现超宽的水平扫描角度，从而增强了对前方来车、过马路的行人、交通信号灯、交通标志和路边障碍物的扫描能力。随着进一步的改进，三菱电机的目标是使垂直扫描角度超过25度，从而即使在近处也能检测到车辆和行人。得益于信号处理电路、电源电路和光发送/接收机制的优化布局，这款激光雷达主体的体积仅为900立方厘米，展望未来，三菱电机的目标是开发体积仅为350立方厘米或更小的超微激光雷达设备。
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