据统计，压力传感器是全球三大传感器种类之一（流量、压力、流量传感器），压力传感器种类繁多，MEMS是用量最大的压力传感器技术，其次是陶瓷、溅射薄膜、微熔等压力传感器，传统应变片、蓝宝石、压电、光纤、谐振等压力传感器在计量、国防航空等领域有所应用。
MEMS压力传感器作为应用最多的压力传感器，该怎么进行选型？本文从用途、量程、精度、电学要求、作业方式、温度范围、密封要求等方面全面介绍。
近期，新加坡的产品研究和咨询公司Twimbit公布了一份调研报告，预测和分析了2020-2023年，全球市场中15种市场规模最大的传感器，这些传感器是从上百种主要传感器类别中筛选出来的。（可参看《未来3年：15种最有前景的传感器（趋势预测）》内容）这15种传感器合计占2020年全球总份额的79.88%，如下图：
在15种市场规模最大的传感器中，压力传感器排名第六，2020年的全球市场规模达到91.69亿美元，到2023年预计增加到110亿美元销售额，复合年增长率为6.3%。压力传感器用途极其广泛，有多个应用场景，如工业互联网、消费电子、汽车、生物医学、航空航天、天然气、化工、矿业、电力、楼宇自动化、暖通空调、食品加工、制药、医疗保健、环境监测等等。
那么，面对种类繁杂、型号众多的压力传感器，我们应该如何选择一款合适的传感器呢？这就涉及到了传感器的选用原则，即以最合适的价格选择满足其用途、压力量程、精度需求、温度范围、电学要求、作业方式、压力密封要求等指标的压力传感器，当压力传感器安装到设备上之后，要运行正常稳定，测量准确，经久耐用。我们将分两个章节来介绍压力传感器选型必须考虑的重要方面。
压力传感器又分为传统压力传感器与MEMS压力传感器，在实际应用中，MEMS压力传感器以其体积小、精度高、稳定性好等优点逐渐替换了传统压力传感器。因此本文主要针对MEMS压力传感器进行介绍。
一、用途方面的考量
由于结构不同，压力传感器可以分为测定绝对压力的绝压传感器、测定对大气的相对压力的表压传感器和测定两处压力差的差压传感器。
测定绝对压力（即绝压传感器）时，传感器内自身带有真空参考压，所测压力与大气压力无关，是相对于真空的压力。
对大气的相对压力是以大气压力为参考压，因此传感器弹性膜一侧始终与大气是连通的。由于大气压力与离地面的高度、四季中大气中水汽含量的变化以及不同地点和组成大气的各种气体的含量的变化有关。因此，所测得的相对压力便与上述因素有关。
此外，还可从传感器弹性膜两侧分别导入流体压力，这样能测定流体不同地点或流体间的差压。
所以，针对不同用途应选用不同结构的压力传感器。
二、压力量程方面的考量
压力传感器的压力适用范围是分级的，这是因为压力传感器的弹性膜承受流体压力有一个限度。这就是通常所说地耐压极限，超过此极限，弹性膜便破裂了。传感器都有不同过压能力，一般来说，每个传感器都有20%~300%的过压能力。
压力量程的选用应主要考虑三个方面的因素：传感器的最大过压能力、精度与压力量程的关系以及传感器的价格与压力量程的关系。
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量程的选用在考虑最大过压能力时，要特别注意静压和动压的区别。因为，动压往往会出现冲击压力，甚至冲击波，而冲击压力远高于静压力，如果选用的最大工作压力量程是指静压力的话，传感器在承受动压力时，应选用较大的过压能力，否则冲击压力很容易达到极限耐压，使压力传感器受到破坏。
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量程的选用我们还要注意精度和量程的关系，一般情况下不同量程的压力传感器其精度存在差异，在选型时选择合适的量程更容易满足精度上的要求。
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对于价格与量程的关系，通常来说，0.3~1MPa的压力传感器的价格较便宜，0.1MPa以下或1MPa以上的压力传感器价格比较贵。
三、精度需求的考量
精确度，是传感器行业内通俗用来描述传感器输出误差常用的一个术语。它来源于非线性，迟滞，不可重复性，温度，零点平衡，校正和湿度效应。通常下我们将精确度指定为非线性，迟滞和不可重复性的综合影响。
静态精度是指某一特定温度（室温25℃）下应达到的精度。可以分为四档：0.01~0.1%FS为超高精度；0.1~1%FS为高精度；1~2%FS为普通精度；2~10%FS为低精度。全温度范围精度是指压力传感器在整个使用温度范围内都应达到的精度，同样可以分为与静态精度相同的四档。
压力传感器的热零点漂移和热灵敏度漂移系数及非线性误差是影响传感器精度的重要指标。对同一压力传感器来说，热零点漂移系数随工作压力增加而减小，而热灵敏度系数和非线性误差随工作压力增加而增加。
一般来说，拥有更高精确度的传感器成本会更高，但是压力传感器达到高精度时，必然在制作过程中增添了许多附加工艺以及校淮过程和补偿技术。因此应根据压力传感器实际应用场合和要求，提出合理的精度要求。
压力传感器的选型还有电学要求、作业方式（介质）、工作温度范围和压力密封要求等考量因素，我们将在下一篇文章中着重介绍。
四、电学要求的考量
一般压阻式压力传感器的输出为模拟信号，满量程输出电压可达100-150mV。远距离输出信号电压便会衰减，应采用电流信号输出。经压力变送器将电流放大后可以输出20mA以下的电流信号。实际应用中会使用调理电路将MEMS传感器输出的模拟信号转换成适合的标准信号供用户选择。
MEMS传感器输出的模拟信号经过A/D和V/F变换后，得到数字信号或频率信号。信号经过调理后，数字信号可输出I2C/SPI，模拟信号可以输出0~5V和0~10V（绝对电压输出和比例电压输出），电流信号可以输出4~20mA。
压力传感器通常采用两种激励源方法：恒流源和恒压源。这两种方法是有区别的，其作用不同：
1）恒流源激励有利于热灵敏度漂移的补偿作用，一般精度测量时用恒流源激励；
2）恒压激励不能直接提供灵敏度温度补偿效果，但用恒压源激励时，可在桥外串接热敏电阻或二极管以补偿热灵敏度漂移，其测量的精度取决于恒压源稳压器件的精度；
另外，压力传感器的激励电源还可以分为正比激励和固定激励：
1）正比激励是将压力传器电桥直接接到电源上，当电源改变时，压力传感器的灵敏度和零点都随之发生变化；
2）固定激励是传感器调理电路内部有一个参照电压，压力传感器电桥由参照电压供电激励。参考电压是恒定的，与电源电压无关。只要电源电压在一个指定电压范围内变化，参照电压不变。因而传感器的输出不变，不受电源电压的影响。
五、作业方式的考量
压力传感器的作业方式在选型中也是一个比较重要的考量因素。例如，传感器用于气体压力的测量与液体压力的测量时情况便不同。气体是可压缩流体，增压时会贮存一定的压缩能，减压时又以动能释放出来，给传感器弹性膜施加冲击波。而液体是不可压缩流体，在压力传感器安装时，拧紧螺拴又无可压缩空间，则有可能使液体压力升高，超过弹性膜的耐压极限，导致弹性膜破裂。
压力传感器的工作环境恶劣时，比如有大的振动、冲击，或大的电磁干扰，对传感器提出更为严格的要求。不仅要求压力传感器的过压能力增强，而且要求机械密封可靠、防松动，传感器自身的引线、引脚以及外导线都应加以电磁屏蔽，并将屏蔽良好接地。
此外，应考虑压力传感器与所测流体介质的相容性问题。例如，传感器的弹性膜结构应与腐蚀性介质相隔开；传感器检测易燃、易爆介质压力时，使用小激励电流，防止弹性膜破裂时产生火花、火星，并增加压力传感器外套的耐压能力等。
六、工作温度范围的考量
压力传感器，像所有物理设备系统一样，在极端温度的环境下会产生错误甚至无法使用。一般将压力传感器使用温度范围分为五类：普通商业级，范围为-10~60℃；工业级，范围为-25~80℃；汽车级，范围为-40~125℃；军事级，范围为-55~125℃；特殊级，范围为-60~350℃。
压力传感器在室内应用时，可选择商业级；有室外应用时可选择工业级。也可以采取措施使传感器与环境热隔离或进行加热或冷却，选择普通商业级用在-10℃以下或60℃以上的环境中。选择什么温度范围还应考虑传感器的电子学温度特性和机械温度特性。
温度的改变通过两种方法影响传感器，其一是造成零点漂移，其二是影响整个量程的输出。为消除温度的影响，就需要应用各种温度补偿技术。工作温度范围越宽，补偿技术难度越大，校准工作量也越大。
七、压力密封要求的考量
压力传感器通常用的压力密封是橡胶垫（或称O型环）、环氧树脂、聚四氟乙烯垫、锥孔配合、管螺纹配合及焊接等方式。所用的密封材料决定了压力传感器的工作温度范围。