据微导体行业网消息，5月29日，微导体纳米发布晚间公告称，公司计划向不特定对象发行可转换公司债券，筹集的资金总额不超过11.7亿元。扣除发行费用后，募集资金净额将用于半导体膜沉积设备智能化工厂建设项目、R&D实验室扩建项目和补充营运资金。
根据公告，半导体膜沉积设备智能化工厂建设项目总投资6.7亿元，拟使用募集资金约6.43亿元。计划建设先进的生产车间，购买先进的生产设备和测量设备，提高薄膜沉积设备的生产能力。本项目主要生产半导体领域 iTomic 系列和 iTronix 该系列产品涉及两种设备：原子层沉积和化学气相沉积。
通过本项目的建设，公司将继续扩大半导体领域产品的技术类型，并对现有的iTomic进行研究 系列和 iTronix 该系列产品进行技术升级，扩大机器的工艺范围，优化设备的占地、产能和成本，开发和批量生产更先进的工艺技术。
据了解，微导纳米致力于薄膜沉积设备的研究，经过多年的发展，形成了原子层沉积（ALD）以技术为核心，化学气相沉积（CVD）各种真空薄膜技术梯队开发的产品系统涵盖了各种工艺技术和产品类别。目前，公司的产品涵盖了逻辑、存储和新显示（硅基） OLED 等)和化合物半导体等领域。
此外，研发实验室扩建项目实施地址位于江苏省无锡市新吴区，总投资4.3亿元。计划建设先进的研发洁净室，购买先进的测量设备，优化公司的研发测试环境，提高公司的研发能力和科技成果转化能力。旨在通过精密测量、技术验证、质量控制、市场应用和人才培训等关键工作，确保产品质量稳定可靠，继续促进技术创新和产品研发，保持新的市场环境竞争优势，为实现世界级微纳技术解决方案设备制造商的目标提供技术支持。