MEMS 电容式技术
电容式加速度传感器的关键组件是优质微电子机械系统(MEMS)，具有良好的长期稳定性 和可靠性。这种经过验证的技术能够用于测量静态(DC)和恒定以及动态(AC)加速度。 基于电容工作原理的加速度传感器的其他优点还包括优异的温度稳定性、良好的响应性能和 可实现的分辨率。
描述
低噪(LN)加速度传感器具有优异的噪声性能，范围为 7-400 μg/√Hz，这是最基本的最小频 率和振幅测量要求。集成电子电路有助于确保差分模拟电压输出(±4 V FSO)和灵活的电 源电压(6-40 VDC)。
中频(MF)加速度传感器提供了宽频响应，范围为 0-7 kHz(±3 dB)，以及一个非常稳健的 设计，耐冲击高达 6,000 g。集成电子电路有助于确保差分模拟电压输出(±2.7 V FSO)和灵 活的电源电压(5-40 VDC)。
该系列传感器具有轻量级铝制外壳或稳健不锈钢外壳，保护等级为 IP65，以及带可配置长度 和接头的集成电缆。
应用
三轴加速度传感器可在三个自由度的宽频响应范围内检测最小加速度，如用于试验台应用、车辆和道路监测以及航空中的共振和颤振试验。
