中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所”）成立于1958年，是我国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构。
微电子所前身为原中国科学院109厂。1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中国科学院微电子中心。2003年9月，正式更名为中国科学院微电子研究所。
微电子所在半导体器件与集成电路制造、集成电路设计与应用、集成电路装备等领域展开科研工作，设有13个研发单元，具备从原理器件、集成工艺、制造装备到核心芯片开发的全链条、体系化科技创新与关键核心技术攻关能力。
微电子所目前在职职工1千余人，其中包括中国科学院院士2人、高级专业技术人员480余人。
微电子所是国务院学位委员会批准的博士、硕士学位授予权单位之一，是中国科学院大学集成电路学院主承办单位，现设有集成电路科学与工程、电子科学与技术、光学工程三个一级学科。目前共有在学研究生1600余人，在站博士后44人。
站在新的历史起点，微电子所将秉承“惟精惟一、求是求新”的所训，聚焦国家重大战略需求，加快提升原始创新能力，加快突破关键核心技术，砥砺奋进、开拓创新，为实现我国集成电路领域科技自立自强不断做出新的贡献。
中国科学院微电子研究所是一所专门从事微电子领域研究与开发的国立研究机构，是中国科学院微电子技术的总体和中国科学院EDA中心的依托单位，主要研究方向为：
① 集成电路先导工艺与仪器装备技术；
② 集成电路与系统设计技术；
③ 高性能器件与电路集成技术；
④ 射频、微波器件与电路集成技术；
⑤ 三维集成与系统封装技术；
⑥ 新型纳米器件与集成技术；
⑦ 物联网与传感器技术。
MEMS产线（中试线）-8英寸
2016年由中科院微电子所设立的MEMS研发平台，其8英寸MEMS中试线工艺稳定性达到98%；针对三轴重力加速度计、基于氧化钒的红外图像传感器、医用CT中X-ray探测、基于薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红外探测器等产品。
