基于磁控溅射技术的微结构柔性压力传感器
孙士斌,钱磊,王培力,秦治伟,牛世聪,朱志浩
上海海事大学
2024-09-09
目前,探索制备流程简单、成本较低且性能优异的可穿戴应变传感器仍然是一个巨大的挑战。本文提出了使用模具成型法制备具有微观结构的传感器基底,并结合磁控溅射技术构造导电薄膜,制备出 一种新型的柔性压力传感器。实验结果表明:这种方法有利于基底与导电材料的结合,使传感器具有更大的形变潜力。提高了传感器的灵敏度(0 ~500 Pa 的灵敏度为2. 37 kPa -1),且具有迅速的响应恢复时间(约250 ms)、良好的耐久性(1 000次循环试验)以及极低的最小响应限度(约1. 5 Pa)。同时,该传感器能够用于进行人体状态监测,能检测出心跳、脉搏等微弱的生理信号,证明了该柔性压力传感器在智能可穿戴设备方面具有良好的应用前景。
  • 柔性压力传感
被引用: 478次
年份: 2023年
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内容目录
  • 引言

  • 1、材料与仪器

    • 1.1 实验材料

    • 1.2 仪器设备

  • 2、实验方法

    • 2.1 传感器的制备

    • 2.2 表征与机理分析

  • 3、性能探究与测试

  • 4、应用探索

  • 5、结论

核心点推荐
  • 柔性压力传感器
  • 磁控溅射
  • 微结构
  • 人体状态监测