引 言

1、静电激励与检测原理

2、机电耦合特性分析

• 2.1 ＡＳＶＧ有限元建模

• 2.2 ＡＳＶＧ机电耦合仿真

• 2.3 激励方式与振幅关系

• 2.4 电极结构与振幅关系

• 2.5 检测电容与装配误差关系

3、实验结果

4、结论