引 言

1、原理与实验

• 1.1 仪器与设备

• 1.2 ＭＥＭＳ结构版图设计与ＵＶＮＩＬ工艺流程

  • 1.21 ＭＥＭＳ结构版图设计

  • 1.22 ＵＶＮＩＬ工艺流程

• 1.3 ＤＰｈＰＣ双分子薄膜构建

2、结果与讨论

• 2.1 成膜测试

• 2.2 光学测试分析

• 2.3 电学测试分析

3、结论