为设计一种兼具抗高过载性能与高灵敏度的低量程电容式加速度传感器，结合响应面分析和遗传算法，对传感器的７组尺寸参数进行了优化。利用实验设计（ＤＯＥ）中的多组采样点与二次拟合确定了尺寸参数与传感器输出变量之间的函数关系，基于该函数引入惩罚因子，进行多次遗传算法迭代处理。最终统计响应面优化和遗传算法的结果，获得了１组最优尺寸参数。优化结果表明：在相同的加速度作用下，传感器的等效应力降低约１８ ％ ，等效位移增大约１２ ％ ，设计灵敏度增大约２０ ％ ，在３０ ０００ ｇｎ 过载下的最大应力减少２２４． ９４ ＭＰａ，具有更高的抗过载能力。